8英寸金属刻蚀系统
厚铝刻蚀及铝互连
Kessel™ Pishow® M 金属刻蚀系统为可用于200mm的IC产线铝金属互连工艺的量产型机台,基于自有开发的优化设计,保证了优异的刻蚀均匀性(片内<8%,片间<5%)和颗粒控制。
在4微米厚铝刻蚀工艺中,可以提供8000片/月的产能。
该系统高性价比的解决方案和优秀的空间利用率,可为客户产能升级提供帮助。