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公司首届微纳加工与应用交流会 -- 铌酸锂专题成功举办

2019523日,由我司主办的“首届微纳加工与应用交流会 -- 铌酸锂专题”在邳州铂翠至贤酒店成功举办,西湖大学李西军教授、中科院微电子所赵超博士、开发区姬怀磊局长应邀参加本次交流会,本次交流会吸引了来高校、研究所的专家学者和同学们前来参与。会上,公司董事长许开东博士发表了欢迎致辞,表达了对受邀嘉宾以及与会人员的热烈欢迎并对我司的情况做了简单的介绍。
                                           

      报告会上,李西军教授做了题为“LiNbO3的微纳加工和应用的学术报告,李博士首先梳理了LiNbO3晶圆的历史,并着重介绍了他在日本Pioneer公司工作期间的成果,他创新性地提出在铌酸锂(LNoI, LiNbO3 on insulator)单晶上涂覆绝缘层来完成非线性光学晶圆的研制,该方法可有效避免由于电荷累积效应导致的样品损伤。接着,李教授详细介绍了LNoI光波导管的微纳加工工艺、实现铌酸锂铁电电畴的聚焦离子束(FIB)加工工艺,以及LNoI晶圆上的非线性光学系统集成工艺。此外,李教授还将这些微纳加工技术的所蕴含的物理学思想一一剖析,并分享给了与会人员。报告会后,与会老师和同学与李教授进行了微纳加工技术方面的讨论。    
                                           

随后赵超博士做了题为“中国集成电路装备和材料产业发展现状和展望”的报告,公司工艺经理车东辰博士做了题为“鲁汶仪器LN刻蚀工艺进展及设备介绍”的报告。整个交流会报告内容前沿而又有深度,在聆听了各个专业性的报告后,与会者受益匪浅。在提问环节,与会人员就自己的问题积极地向受邀专家请教,李博士、许总和车博士就问题一一的向与会者进行详细的解答,更加加深了与会者对问题的理解和学习。相信此次技术交流会的举办,会为相关学者的研究方向提供参考,也为公司在半导体行业的发展提供新思路与新经验。
                                           

       江苏鲁汶仪器有限公司未来将持续举办微纳加工和应用交流专题会,为行业同仁们提供更全面更加充分沟通的平台。江苏鲁汶仪器有限公司立志成为半导体行业关键装备和解决方案的首选供应商,提供从装备研发、生产到技术支持的完整服务体系,推动芯片制造技术变革,面向半导体前沿的技术需求。

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