工艺数据

Stable Pattern Profile Within 400 RF·h

详细介绍

Kessel^® Pishow^® M2 金属刻蚀设备为可用于8英寸的IC产线铝金属互连工艺的量产型机台，基于自有开发的优化设计， 保证了优异的刻蚀均匀性（片内<5%，片间<3%），出色的刻蚀选择比（Al:PR>2.4），以及优良的颗粒控制。在0.11 μm技术代铝互连刻蚀工艺中，可以提供20000片/月的产能。MTBC可达400RF·h，稳定性优异。

该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率，可为客户产能升级提供帮助。