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LMEC-300™
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RIE, IBS, PECVD

12英寸特种金属膜层刻蚀设备

Pangea® A 系列
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IBS

12英寸离子束塑形（IBS) 设备

Lorem® A 系列
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IBS

8英寸离子束塑形（IBS）设备

Ganister™ A 系列
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RIE, IBD

8英寸离子束沉积（IBD）设备

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