ICP
12英寸硬掩膜刻蚀设备
ICP, Strip
12英寸金属刻蚀设备
8英寸硅刻蚀设备
8英寸金属刻蚀设备
8英寸电感耦合等离子体刻蚀(ICP)设备
8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀(ICP-DSE)设备
CCP
电容耦合等离子体刻蚀(CCP)设备