RIE, IBS, PECVD
12英寸特种金属膜层刻蚀设备
IBS
12英寸离子束塑形（IBS) 设备
8英寸离子束塑形（IBS）设备
RIE, IBD
8英寸离子束沉积（IBD）设备
ICP
12英寸硬掩膜刻蚀设备
ICP, Strip
12英寸金属刻蚀设备
8英寸硅刻蚀设备
8英寸金属刻蚀设备
8英寸电感耦合等离子体刻蚀（ICP）设备
8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀（ICP-DSE）设备
CCP
电容耦合等离子体刻蚀（CCP）设备
ICP-CVD
8英寸电感耦合等离子体化学气相沉积设备
PECVD
8英寸等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备
VPD
气相分解金属沾污收集（VPD）设备
